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潔凈室除塵系統無塵室除塵設備
        潔凈室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業人員本身的動作有關。因此，潔凈室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產塵量為1.1 ~ 1.0×101個/人·分（≥0.1µm）。是潔凈室內的*主要的發塵源。1. 潔凈室圍護和室內表面的產塵。隨著潔凈室裝修材料的發展，耐磨、抗靜電、少產塵的材料出現，潔凈室內建筑產塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產塵為1 ~ 1.0×101 /m1·分（≥0.1µm）。可見10平方米建筑產塵只相當一個作業人員的產塵量。1.生產設備和生產過程的產塵：這一產塵量與設備和生產過程本身有直接關系。不同設備、不同生產工藝的產塵量差別較大。
SINOVAC真空清掃系統工作原理：    
中央真空清掃系統運行時，粉塵通過吸塵嘴被有效的吸入到真空管網內部，在真空負壓的作用下，被吸進的粉塵隨氣流沿著負壓管路被抽入吸塵器內部。首先大顆粒粉塵經過進風口導流板，在離心力的作用下，落入機器下方的集塵桶內；密度極輕粉塵隨氣流繼續向上運動。粉塵進入中央吸塵主機過濾室時，被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機排風出口經消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵通過系統自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成。

清掃口。系統末端為吸塵口，平時有蓋密封，使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為1米，每個系統同時工作的吸塵口為1~1個，每個吸塵口的風量為110m1/時。 
集中式真空吸塵不會影響室內的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。 
潔凈室的清掃制度在一般情況下，每班（每天）小清掃一次；每周中清掃一次，每月大清掃一次。并且要設專人負責管理、監督和檢查。還要有一定的培訓制度。

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